3月26日-28日,全球半導(dǎo)體行業(yè)盛會SEMICON CHINA 2025在上海新國際博覽中心盛大啟幕。在E7-7543展位,優(yōu)艾智合聯(lián)合創(chuàng)始人趙萬秋手持盛滿液體的酒杯走向展臺中央,身后機(jī)器人托著同款"晶圓盒"平穩(wěn)穿行——杯中液體竟紋絲不動!這場堪比"香檳塔搬運"的硬核演示成為全場焦點,吸引眾多專業(yè)觀眾駐足圍觀。
毫米級精度背后的技術(shù)密碼
在半導(dǎo)體制造的核心環(huán)節(jié),晶圓搬運的穩(wěn)定性直接決定產(chǎn)品良率。優(yōu)艾智合自主研發(fā)的融合激光導(dǎo)航算法與主動減震系統(tǒng),通過三重技術(shù)保障實現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的 ±2mm 定位精度與小于 0.1g的振動控制:
1、特殊設(shè)計的移動懸架系統(tǒng),如同為機(jī)器人配備 "避震器",有效吸收地面不平帶來的沖擊。
2、儲位減震設(shè)計形成雙重防護(hù),確保晶圓在高速移動中紋絲不動。
3、視覺定位技術(shù)在夾爪末端實現(xiàn)±0.5mm級精準(zhǔn)對接。
1、工藝全覆蓋:自動化上下料解決方案支持包括刻蝕、光刻、涂膠、氧化、離子注入、PVD/CVD、拋光、檢測、貼片、Diebond、Wirebond、磨片減薄、塑封、FT測試等在內(nèi)的全工藝段無縫對接。
2、載具全兼容:FOUP、SMIF pod等多類載具智能適配。
3、調(diào)度超進(jìn)化:自主研發(fā)Fleet系統(tǒng)實現(xiàn)千臺機(jī)器人協(xié)同,柔性作業(yè)。
優(yōu)艾智合的解決方案猶如半導(dǎo)體工廠的毛細(xì)血管,精準(zhǔn)地為生產(chǎn)流程輸送動力與支持。每一個移動的機(jī)器人,都像是傳遞神經(jīng)沖動的精準(zhǔn)信號,確保著生產(chǎn)的高效與穩(wěn)定。
量產(chǎn)驗證的行業(yè)標(biāo)桿案例
在某全球頭部8寸晶圓廠,23臺優(yōu)艾智合機(jī)器人組成的智能集群已穩(wěn)定運行數(shù)年:
1、日均完成3.3萬個物料搬運任務(wù),全程在Class 1超凈環(huán)境中高效作業(yè)。
2、成功替代58名人力,大幅降低搬運成本,實現(xiàn)顯著的成本節(jié)約。
3、搬運良率顯著提升,成為晶圓廠實現(xiàn)fully auto全自動化物流體系的新選擇,顯著提升了生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性。
作為半導(dǎo)體制造解決方案的領(lǐng)軍企業(yè),優(yōu)艾智合已深度服務(wù)全球300多家行業(yè)頭部企業(yè),解決方案落地60多個國家和地區(qū),在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群形成 "中國方案" 的示范效應(yīng)。
未來,優(yōu)艾智合將以 AMHS 賽道技術(shù)護(hù)城河為依托,通過 "技術(shù) + 服務(wù)" 雙輪驅(qū)動,持續(xù)賦能全球客戶實現(xiàn)智能工業(yè)物流自動化升級,以中國智造的創(chuàng)新力量,驅(qū)動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高效、更穩(wěn)定的智能化未來。
優(yōu)艾智合機(jī)器人科技有限公司是一家以機(jī)器人研發(fā)與制造為核心的創(chuàng)新型高新技術(shù)公司。優(yōu)艾智合具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的移動機(jī)器人核心算法,擁有大量業(yè)務(wù)場景無人化改造經(jīng)驗, 優(yōu)艾智合基于移動機(jī)器人,致力于提供智能制造,智能巡檢及維保等覆蓋全行業(yè)、全方位的產(chǎn)品和解決方案。
公司為合作伙伴提供移動機(jī)器人本體及相關(guān)集成解決方案。致力于為半導(dǎo)體及電子制造,飛機(jī)制造,汽車零配件等制造行業(yè)提供工廠自動化及場內(nèi)物流解決方案。為電力電網(wǎng)、能源冶煉、商業(yè)物業(yè)及公共交通等行業(yè),提供巡檢及自動化維保解決方案。
優(yōu)艾智合機(jī)器人積極踐行企業(yè)使命—“機(jī)器人技術(shù)賦能場景變革”,堅持技術(shù)創(chuàng)新,場景革新,力爭成為機(jī)器人行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。
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