機器人和設(shè)計的LED WTR是一種專門用于LED晶圓處理的機器人,可以高速和精確地轉(zhuǎn)移藍寶石晶圓(2“~6”)。最小的旋轉(zhuǎn)直徑允許縮小整個設(shè)備的尺寸并最大限度地提高空間效率。可根據(jù)要求定制。
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