機(jī)器人和設(shè)計的FOUP搬運(yùn)機(jī)器人安裝在AGV(自動導(dǎo)引車)上,處理12英寸的FOUP。最大有效載荷為25kg,并且具有SCARA臂的運(yùn)動范圍很廣。