電加熱水洗式 機(jī)臺(tái)產(chǎn)品概觀
型號(hào):Kylin TW1000
適用制程
適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/DIFF/ETCH)
全新系統(tǒng)設(shè)計(jì)
采用先水洗再加熱再水洗的三位一體處理系統(tǒng)設(shè)計(jì),延長(zhǎng)設(shè)備維護(hù)周期
電加熱反應(yīng)腔
可調(diào)節(jié)的溫度區(qū)間提高了控制廢氣處理溫度的靈活性
獨(dú)立的加熱棒設(shè)計(jì)提高熱效率
可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)
PLC安全互鎖系統(tǒng)
煙感、門禁、漏液等互鎖裝置保證機(jī)臺(tái)安全穩(wěn)定運(yùn)行
部件模塊化設(shè)備便于拆裝維護(hù)
高利用效率
高流量以及多進(jìn)口設(shè)計(jì),可以連接多個(gè)制程工藝
較小的占地面積