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自動(dòng)導(dǎo)向車
工業(yè)機(jī)器人
服務(wù)機(jī)器人
特種機(jī)器人
自動(dòng)化系統(tǒng)
零部件半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。 研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，顯著地提高了chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
加載情況下控溫精度優(yōu)于±0.5℃，可在-20℃～80℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性；
采用先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，利用變頻器實(shí)現(xiàn)壓縮機(jī)和水泵的節(jié)能減耗；
設(shè)備具有故障、自診斷功能，并可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程診斷及維修；
先進(jìn)的密封技術(shù)，減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā)；
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)和CE標(biāo)準(zhǔn)，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品；
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