全自動晶圓傳片機,主要用于晶圓的傳送、定位和排序。
產品特點:
獨立自主知識產權的直線型單臂機械手,具有高可靠性、高穩定性。
設備配有高效FFU,采用全封閉結構,可發揮超潔凈性能,其潔凈度達Class1。
可實現對晶圓缺口的檢測并依據缺口位置對晶圓進行定位。
配備高精度CCD傳感器及圖像處理軟件,可對晶圓ID刻號進行識別與讀取;
可依據客戶需求,非標定制。