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京儀 等離子水洗式 機臺產品

京儀  等離子水洗式 機臺產品

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型號:Kylin PW1000

適用制程

適用于半導體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)和面板行業

對全氟化碳(PFC)氣體處理的效果卓越

全新系統設計

等離子弧火焰超過3000℃,可以高效處理PFC氣體

低耗電量,等離子電源能耗可根據應用制程進行調節

Plasma反應腔

耐腐蝕材料應用提高了部件的使用壽命

反應腔采用水冷

可維護性、安全性增強

PLC安全互鎖系統

煙感、門禁、漏液等互鎖裝置保證機臺安全穩定運行

部件模塊化設備便于拆裝維護

高利用效率

高流量以及多進口設計,可以連接多個制程工藝

較小的占地面積

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