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自動(dòng)導(dǎo)向車
工業(yè)機(jī)器人
服務(wù)機(jī)器人
特種機(jī)器人
自動(dòng)化系統(tǒng)
零部件
“潔凈室單軌光罩輸送系統(tǒng)”由于機(jī)身較低，被廣泛應(yīng)用于狹窄環(huán)境中光罩的搬送。該系統(tǒng)采用非接觸式供電，最高搬運(yùn)速度可達(dá)200米/分。在分支與合流前無(wú)需停車，保持運(yùn)轉(zhuǎn)順暢。
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