中國科學家正在江蘇蘇州建設世界首個集材料生長、器件加工、測試分析為一體的納米領域大科學裝置——納米真空互聯綜合實驗站。有了它，科學家未來就有可能制造出體積更小、運算速度更高的計算機，以及更加智能的機器人。

　　“這個實驗裝置是在類似太空一樣的全真空環境下的納米器件研發平臺，是目前世界上最大的真空互聯科研裝置。我們探索的是未來納米器件制造的新技術。”中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站副總指揮丁孫安說。

圖為中國科學家正在江蘇蘇州建設納米真空互聯綜合實驗站。

　　他指出，實驗站力圖通過超高真空條件下的互聯集成和若干重大項目驗證，突破現有儀器設備的功能限制，實現材料制備、測試分析與微納加工工藝等方面協同效應，為科研和戰略性新興產業發展提供先進的開放平臺。

　　據介紹，納米真空互聯綜合實驗站依托中科院蘇州納米所，聯合清華大學薛其坤院士團隊、中科院大連化學物理研究所包信和院士團隊開展建設。首期由中國科學院、江蘇省、蘇州市和蘇州工業園區共建，建設經費3.2億元，預計2018年建成。一期建成后將有100米真空管道，連接30多臺設備。

圖為中國科學家正在江蘇蘇州建設納米真空互聯綜合實驗站。

　　據丁孫安介紹，納米真空互聯實驗站最終目標是建成總長約500米的超高真空管道，將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器設備互聯一起，實現樣品在不同設備之間傳送時其表面不被氧化、沾污，不被外界大氣環境所破壞，總投資約15億元。

　　“未來電子元器件將發展到納米級，也就是納電子，器件尺寸越來越小，集成度越來越高，可以提高器件性能。但是那么小的器件以目前的工藝還有很多效應無法解決，不能完成新型器件的制造。所以未來生產納米甚至以下級別的器件需要一種全新的技術路線。”丁孫安說。

圖為中國科學家正在江蘇蘇州建設納米真空互聯綜合實驗站。

　　“在納米科學技術研究中許多問題不能只靠一種手段解決，需要多種手段、多臺設備聯合解決。同一個材料樣品在不同設備之間轉換，暴露在空氣中，性能就會發生變化，納米真空互聯裝置把很多設備都集中在同一個平臺上，減少了很多影響器件的因素，并且能省去很多不必要的工藝環節，從而節約成本，器件質量也會大大提高。”丁孫安說。

　　他表示，納米真空互聯實驗站不僅可以開展硬件研制，也能開發新的工藝，超導器件、半導體器件等對表面敏感的材料器件都可以在這里制造，可實現量子材料的設計、制備，這樣就可以用于制造強大的量子計算機。科學家可以利用這套裝置，生產很多更智能化、更可靠、更小型的器件，可應用于通訊、信息、人工智能等領域。由于降低了成本，未來普通人也可以使用更高端小巧的設備。

圖為中國科學家正在江蘇蘇州建設納米真空互聯綜合實驗站。

　　納米真空互聯實驗站所落戶的蘇州工業園區，是全球納米領域具有代表性的產業區域之一。實驗站建成后將形成一個國際頂尖納米科技人才的聚集高地，對地方經濟、科技具有很強的帶動與輻射作用；實驗站設備大多數需要自主研發和設計改造集成，可大大提升中國重大儀器設備的研制水平。

　　據介紹，實驗站2014年開始建設，目前一期進展順利，已完成超高真空管道系統與樣品傳送的技術方案和招標合同。自主研發的關鍵工藝和測試設備及相關預研課題進展順利，利用真空互聯的創新技術，開展先期課題研究，已取得初步成果。納米真空互聯模擬實驗裝置調試成功，過渡期小型驗證裝置正在調試試運行，可以實現遠程控制，全程自動化運行。

圖為中國科學家正在江蘇蘇州建設納米真空互聯綜合實驗站。

　　專家說，納米真空互聯實驗站將成為一個科技公共開放實驗平臺，對提升納米科技創新能力，孕育和形成戰略性高技術產業具有重要作用。作為納米科技領域重要的前瞻性戰略布局，它利用全真空互聯的變革性技術，解決未來納電子等新興產業中的關鍵技術問題，并面向“中國制造2025”的戰略需求，提升自主設計水平和系統集成能力，以科技帶動產業鏈快速發展，為國家戰略高技術及江蘇省、長三角地區產業發展提供重要支撐。建成后，這個實驗平臺將向全球科學家開放。