自 2021 年以來，半導(dǎo)體行業(yè)正在飛速地增長，整體市場規(guī)模不斷突破歷史新高，2022 年依舊延續(xù)此前勢頭，成為全球為數(shù)不多、在疫情影響之下依然快速發(fā)展的行業(yè)之一?？焖偾斑M(jìn)之下，更多市場需求和局限開始凸顯，其中物流則是關(guān)鍵一環(huán)。

如何將半導(dǎo)體行業(yè)的物流環(huán)節(jié)成功升級，轉(zhuǎn)向智能化流程節(jié)能提效，成為眾多半導(dǎo)體企業(yè)的重要課題。仙工智能作為國內(nèi)頭部的以智能控制及數(shù)字化為核心的工業(yè)物流解決方案提供商，積累眾多行業(yè)客戶經(jīng)驗，目前已將半導(dǎo)體行業(yè)作為重點(diǎn)行業(yè)推進(jìn)，致力于為客戶提供一站式半導(dǎo)體行業(yè)智能物流解決方案。

▲ 以下為直播內(nèi)容實(shí)錄，由仙工智能整理

半導(dǎo)體行業(yè)客戶的痛點(diǎn)難點(diǎn)是什么？仙工智能在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品應(yīng)用范圍是什么？成功的項目案例有哪些？仙工智能的 3D 視覺系統(tǒng)解決方案究竟有何不同？如何落地？

6 月 17 日 14 時，智能網(wǎng)發(fā)起『對話仙工智能，直擊半導(dǎo)體行業(yè)痛點(diǎn)的智能物流解決方案』的在線研討會，仙工智能半導(dǎo)體事業(yè)部總經(jīng)理于承東做客演講，為大家揭秘上述疑問。

直播內(nèi)容共分三篇，本篇為第『一』篇，主要探討半導(dǎo)體行業(yè)『晶圓搬運(yùn)』環(huán)節(jié)中的痛難點(diǎn)以及仙工智能的創(chuàng)新解決方案與應(yīng)用。

▲ 半導(dǎo)體工藝流程分析

（藍(lán)色為仙工智能半導(dǎo)體解決方案覆蓋環(huán)節(jié)）

上圖為半導(dǎo)體整個工藝流程，圖表中清晰標(biāo)注了仙工智能在整個半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中能做的工作，包括清洗、光刻、離子注入、封測整個環(huán)節(jié)、除高溫固化和光檢以外的封測后段環(huán)節(jié)、成品倉儲整個環(huán)節(jié)，上述環(huán)節(jié)均使用仙工智能自有的解決方案。

晶圓搬運(yùn)

動態(tài)標(biāo)定技術(shù)+多任務(wù)拼合單+機(jī)器人緩存位

在晶圓制造的拉晶、切割、研磨、拋光等環(huán)節(jié)中，仙工智能針對客戶的現(xiàn)場設(shè)備推出了標(biāo)準(zhǔn)化解決方案，類似目前的 6 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人和 8 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人。

▲ 仙工智能 6 寸、8 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

在晶圓搬運(yùn)環(huán)節(jié)中存在兩大痛點(diǎn)。第一、多車不一致，精度差，仙工智能目前所服務(wù)客戶表示，此前使用過類似產(chǎn)品，但精度一直無法達(dá)到理想預(yù)期。

動態(tài)標(biāo)定技術(shù)

仙工智能推出了晶圓搬運(yùn)多車一致性解決方案，自主研發(fā)了動態(tài)標(biāo)定技術(shù)，多車可以共享地圖及標(biāo)定的參數(shù)文件，實(shí)現(xiàn)多車一致性，保證精度，推動快速部署。共分四步：

動態(tài)標(biāo)定技術(shù)

實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)多車一致性

● Step 1：每類設(shè)備中任選一臺做好標(biāo)記點(diǎn)；

● Step 2：選擇一臺 AMR 機(jī)器人與標(biāo)記點(diǎn)設(shè)備對接，確保精度符合對接需求；

● Step 3：將標(biāo)定好的參數(shù)和地圖文件拷貝至其余 AMR；

● Step 4：所有 AMR 自動與現(xiàn)場所有自動化設(shè)備對接，完成整體驗證。

晶圓搬運(yùn)環(huán)節(jié)中第二個痛點(diǎn)是工序間節(jié)拍不匹配、效率低，半導(dǎo)體工藝制程周期較長，每個工序的節(jié)拍互相不匹配，造成存儲和管理難度大，且存在物料出錯的風(fēng)險。

拼合單+緩存位

仙工智能通過運(yùn)用多種方案結(jié)合的模式以解決上述問題。利用仙工智能 拼合單的軟件算法，并且 在整個機(jī)器人設(shè)計中加入了緩存位，如此晶圓搬運(yùn)車體上可有兩個緩存位，結(jié)合『倉庫-產(chǎn)線』往返運(yùn)輸環(huán)節(jié)，通過預(yù)接單模式，實(shí)現(xiàn)順風(fēng)拼合單功能。此外，仙工智能也會根據(jù)客戶現(xiàn)場情況布局做定制的緩存柜，增加緩存數(shù)量，減少貨物等待時間。

仙工智能

工序間不匹配課題

解決方案

目前，仙工智能為一家國際知名半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行了智能化升級，40 多臺車體在客戶現(xiàn)場進(jìn)行晶圓搬運(yùn)工作，仙工智能還配套提供了統(tǒng)一資源調(diào)度系統(tǒng) RDS 以及倉儲物流管理系統(tǒng) MWMS?，F(xiàn)階段整個項目現(xiàn)場正穩(wěn)定運(yùn)行，后期也會有更多類似項目。

除去晶圓搬運(yùn)，仙工智能在半導(dǎo)體封測、成品倉儲環(huán)節(jié)也設(shè)置了完善的解決方案，旨在通過強(qiáng)大的軟硬件產(chǎn)品全方位為半導(dǎo)體行業(yè)客戶制定智能物流解決方案。

上海仙工智能科技有限公司（簡稱仙工智能或 SEER）由 RoboCup 世界冠軍團(tuán)隊創(chuàng)立，是一家以智能控制及數(shù)字化為核心的工業(yè)物流解決方案提供商。公司總部位于上海，全國設(shè)有 7 個辦事處、2 個生產(chǎn)基地，業(yè)務(wù)遍及全球 20 多個國家和地區(qū)。

仙工智能掌握世界領(lǐng)先的技術(shù)與理念，打造智能、高效、可靠、易用的端到端工業(yè)物流解決方案，方案涵蓋移動機(jī)器人控制器、各類移動機(jī)器人及相關(guān)數(shù)字化系統(tǒng)軟件，幫助客戶降本增效，實(shí)現(xiàn)智能化與數(shù)字化升級。

以【惠人達(dá)己，守正出奇，始終創(chuàng)業(yè)，追求極致】的品牌價值觀為導(dǎo)向，憑借卓越的產(chǎn)品力、方案力與服務(wù)力，仙工智能為西門子、菲尼克斯、濰柴動力、格力等全球 800 多家企業(yè)提供服務(wù)?？蛻舾采w半導(dǎo)體、3C、鋰電、光伏、汽車零部件、PCB、紡織、醫(yī)療等行業(yè)，項目交付率達(dá) 100%。仙工智能，以實(shí)力引領(lǐng)工業(yè)物流智能化進(jìn)程。