晶圓盒存儲柜 Stocker主要用于潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)工序及工序之間晶圓盒的存儲,根據(jù)無塵室可利用空間,靈活定制各類型STK,實現(xiàn)空間的極大化。根據(jù)客戶需求,可支持帶凈化功能。