自動導向車
工業機器人
服務機器人
特種機器人
自動化系統
零部件OS Tester
用于TFT LCD生產Array段檢查基板電路斷路/短路的高精度檢測設備
使用先進的非接觸技術，超過60臺的業績。
產品特點：
適用對象：TFT-LCD、TP、LTPS、OLED；
可檢測缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short；
即時在線檢測；
模塊化設計，標準化CIM通訊軟件。
核心技術：
多軸高精度運動控制技術；
非接觸式檢測技術；
高精密一次全面檢出技術；
高精度精密加工、組裝、調試調試。
性能參數：
缺陷檢出率可高達99%；
26軸高精度運動控制， 各軸的重復定位精度達到5微米；
單軸移動速度達到800mm/s；
檢測傳感器與玻璃之間的間隙在100微米以內；
可測試的電子線路最小寬度可達到2微米；
相鄰電子線路之間的間距最小可以達到28微米；
可檢測基板最薄0.4mm。
粵公網安備 44010602004352號