潔凈搬運機器人(Clean Transfer Robot)
主要應(yīng)用于平板顯示及半導(dǎo)體生產(chǎn)線的玻璃基板或硅片的搬送。設(shè)備采用結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計,欣奕華在國內(nèi)率先實現(xiàn)振動抑制,先進(jìn)控制,潔凈機構(gòu)設(shè)計等技術(shù)的突破,使產(chǎn)品的潔凈度控制、 高速運動、定位精度、可搬運產(chǎn)品尺寸及重量等領(lǐng)域均達(dá)到了國際先進(jìn)水平。